光学软件-武汉墨光-光学

现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，指1定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33，2，50)。镜头得到了改进。我们有了一个非常好的微光刻镜头。

很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。

     从这里我们得到了y方向的GWR = 0.0008644和x方向的GWR =0.0003868。现在我们创建RLE文件。在EE编辑器中键入RLE文件

     ID LASER DIODE BEAM CONVERTER UNI MM

     WA1 .403

     OBG 0.0008644 1 .0003868

     1 TH 20

     2

     END

然后运行这个宏，你会得到一个结构简单初始结构很容易看出光束在X方向上与在Y方向上的差异:

     SYNOPSYSAI>BEAM

     ID LASERDIODE BEAM CONVERTER243421-JUL-18

     13:43:50

     GAUSSIAN BEAM ANALYSIS

     SURFBEAM RADIUSWAIST LOCATIONWAIST RADIUSDIVERGENCE

     18.6440000E-04 -3.8714234E-168.6440000E-040.148402

     22.968045-20.0000008.6440000E-040.148402

     SYNOPSYS AI>XBEAM

     ID LASER DIODE BEAM CONVERTER243421-JUL-18 13:43:52

     GAUSSIAN BEAM ANALYSIS

     SURFBEAM RADIUSWAIST LOCATIONWAIST RADIUSDIVERGENCE

     BEAMANALYSIS ΙS IN THE X-Z **NE

     13.8680000E-04 -6.0536896E-163.8680000E-040.331641

     26.632828-20.0000003.8680000E-040.331641

     SYNOPSYS AI>

曲面2上的GBR在Y方向上比在x方向上小得多，我们的*1个任务是把这个差异消除掉。我们需要在光束的中心插入一个透镜。在工作表中，制作一个检查点，然后单击WS工具栏中的Insert Element按钮。然后点击PAD显示器靠近中心的位置，程序将在该位置添加一个镜片。我们来看看光束输出的形状。输入MPE，选择旋转透1视选项，并在光束边缘显示一个圆形图案，用红色表示。然后单击执行。旋转显示器，你会看到X轴上的光束比Y轴上的光束要大得多。纠正这个问题，需要在表面3上添加一个圆柱体透镜。在WS中，选择该曲面，单击曲率对话框按钮，然后选择Toric或柱面按钮，光学镜头，并给出Y-Z半径10毫米和X-Z半径0。单击OK按钮并关闭对话框。现在我们在表面3上有一个圆柱体，光学软件，但是我们必须调整它的参数，光学软件设计，使表面4上的光束半径在X方向和y方向上相同。

创建一个新的宏。我们不希望光束太陡，所以我们要求镜片厚度由3毫米增加到33毫米。宏如下：

     PANT

     VY 2 RAD

     VY 3 RAD

     VY 3 TH END

     AANT

     M 33 1 A TH 3

     M 7 1 A P YA 0 0 1 0 4

     M 7 1 A P XA 0 1 0 0 4 END

     SNAP SYN0 10

运行这个宏之后，将创建一个新的RPER绘图。光束在位置4确实是圆形的。但它还没有像我们希望的那样进行准直。在WS末尾添加另一个镜片。我们将在曲面5上，使用非旋转对称的kinoform曲面，形状为USS 25。创建一个检查点，在WS中选择该曲面，然后再次打开曲率对话框。USS选项如下

如下灰面上的箭头所示，你必须从一个平坦的表面开始改变一个USS形状。点击平面按钮，然后点击USS按钮。当一个新的对话框打开时，光学，选择类型25 Extended DOE，并单击OK和Close按钮。我们希望输出的光束是准直的，添加曲面 7，并使系统无焦。

再次运行CAM OPT，然后运行镜头滑块。 除了在变焦10之前，焦点突然改变，结果看起来不错。我们需要更多的变焦组。 请键入CAM 15 SET

并重新优化。 然后再次运行CAM OPT。 程序将再次找到所有变焦参数的拟合多项式并展开，用于在运行变焦滑块时生成中间位置。 通常，这可以在范围内进行平滑变焦。 我们可以通过设置三次多项式来获得更好的结果。

打开WS并单击ZFILE按钮 。这会将变焦镜头加载到编辑窗格中。 在显示的位置键入CUBIC，然后单击“Update”按钮。 现在再次尝试滑块。