衍射光学-墨光科技(在线咨询)-光学

SYNOPSYS提供可以简化设计自由曲面的过程。阅读帮助文件中的FFBUILD。我们将展示如何设计一个具有自由曲面的反射系统。

第1步是初略的列出几何图形。这里有一个离轴三反镜的例子:光将从表面1的左侧进入，光学，打到2，3和4的反射镜，然后进入5处的图像平面。这是FFBUILD的输入：

   FFBUILD

   SYSTEM

   ID EXAMPLE FFBUILD

   OBB 0 2 25 0

   WAVL CDF

   UNI MM

   CFOV

   END

   GEOM

   2MIRROR  0 0 140

   3MIRROR  0 40 30

   4MIRROR 0 40 120

   5IMAGE  0 -30 60 -10 10

    END

   SHAPES

   2ZERN

   3ZERN

   4ZERN

   END

你现在使用的电脑有一个*处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

镜片数22片

物高31mm

物方数值孔径NA 0.2

波长为UV

像方晶圆尺寸是12.66mm

总长小于1200mm

这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计*二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。

现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，衍射光学，指1定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33，变焦光学，2，50)。镜头得到了改进。我们有了一个非常好的微光刻镜头。

很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。