光学照明-光学-武汉墨光

你现在使用的电脑有一个*处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

镜片数22片

物高31mm

物方数值孔径NA 0.2

波长为UV

像方晶圆尺寸是12.66mm

总长小于1200mm

这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计*二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。

现在打开由DSEARCH为右半部分镜片组准备的优化宏，修改TOTL的设置，光学镜头设计，指1定1200mm长度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。还为后焦添加一个控制目标，现在由solve控制。(M 11 .1 A BACK)。然后运行宏并模拟退火(33，光学，2，50)。镜头得到了改进。我们有了一个非常好的微光刻镜头。

很高兴您选择SYNOPSYS来设计您的镜头，它可以快速的做出非常好的设计。

现在让我们增加变焦组的数量。输入以下命令：

     CAM 15 SET运行变焦滑块，会显示在变焦范围内设计得到了很好的纠正，光学软件，但是在中间的位置会出现离焦。我们预设置为7个变焦位置。让我们看看变焦组是如何分布的。输入以下命令：

     CAM 100在这张图的左端数据变化较快，所以在这一区域，需要分配更多的变焦位置，来控制像差和焦点。输入以下命令：

     CAM 100 APERT现在这个图与前面的图片比例不再相同。我们可以看到左边的变焦位置比右边的变焦位置靠得更近。命令如下

     ZSPACE NONLIN 1.7在ZSEARCH中，更大的非线性值会将它们分布的更广泛一些；而小于1.0的值会将它们聚集在图片的左边区域，光学照明，这是我们不希望看到的情况。

现在镜头已经定义了15个变焦组，同样聚集在凸轮曲线的左边，因为镜头还没有被校正。变焦运动是从原来的凸轮曲线插值而来的，只有7个变焦组是准确的。