光学变焦-光学-武汉墨光

这节课将展示如何设计从一个激光二极管到一个圆形准直光束的光学转换器。我们从一个典型的激光二极管的规格开始，它在X方向和y方向上有不同的发散角，设计任务比较复杂。以下是我们的设计规格:

Y方向的光束发散度: 8.5度

X方向的光束发散度: 19 度

波长为0.403 um

我们将使用OBG命令，它需要高斯腰半径作为参数。首先我们要把发散角转换成半径值。

在用户手册的3.1.2节中，光学照明，我们了解到该程序利用公式将光束半径转换为发散角

你现在使用的电脑有一个*处理器，它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头曝光加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成，是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计，光学，这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。

镜片数22片

物高31mm

物方数值孔径NA 0.2

波长为UV

像方晶圆尺寸是12.66mm

总长小于1200mm

这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的，分两步设计。首先，我们将为左半部分设计一个镜片组，光学变焦，可以让光束经过遮光罩，光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计*二个镜片组，将准直光束成像到晶圆片上。

评价函数包含YZ平面中要求七个点的GNR和倾斜方向视场中的一个点（因为我们将CFOV指令放在SYSTEM文件中），并使用GDR控制X和Y方向上的畸变（因为我们 在GEOM部分中的IMAGE行的词6和7中放了一个所需图像大小的数据）。

   GDR 0 1 4 P   0.100000E+02  -0.100000E+02

运行这个MACro。 这将初始设计逐步改进。 运行后，系统看起来更合理。